고온 진공로용 맞춤형-크기 흑연 절연 링 및 흐름 가이드 링은-광전지, 반도체, 결정질 실리콘 제조와 같은 첨단 분야의 핵심 열 시스템의 핵심 정밀 구성 요소입니다. 이 제품은 최고의 온도 제어 정확성, 고순도 청정 환경, 효율적인 방향성 열 흐름에 대한 일본과 한국의 광전지 및 반도체 장비 제조업체의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다.
이 제품은 순도 99.99% 이상의 초-고순도-등방성 흑연으로 만들어졌습니다. 5{4}}축 CNC 기술로 처리되어 미크론-수준의 정밀 맞춤화가 가능하며 1600도에서 2000도 사이의 극한 고온 진공 조건에 적합합니다. CZ 단결정로, 다결정 실리콘 잉곳로, 존 용융 실리콘 단결정로, 첨단 세라믹 소결로 등 핵심 장비에 널리 사용됩니다.
핵심 준비 과정의 핵심
원료 선택: 핵심 구성 요소는 99.99% 이상의 초고순도를 지닌 등방성 흑연을 사용하여 제조됩니다. 등방성 흑연은 모든 방향에서 탁월한 물리적, 기계적 특성을 나타내어 고온 및 복잡한 열 응력 하에서 링 부품의 구조적 안정성과 치수 정확도를 보장합니다. 일부 특수 용도의 경우 순도 99.995% 또는 심지어 99.999%의 핵 등급 흑연을 사용할 수 있습니다.
단열링
진공로 열장 시스템에서 흑연 단열 링은 낮은 열전도율(고온에서 흑연의 열전도율은 금속보다 훨씬 낮음)과 높은 반사율(특수 처리된 흑연 표면이 대부분의 적외선 열복사를 반사할 수 있음)을 활용하여 고온-온도대에서 저온-온도대로 열 전달을 효과적으로 차단하여 용광로 내에서 안정적이고 제어 가능한 축 온도 구배를 형성합니다. 이는 단결정 실리콘과 같은 결정 성장에 매우 중요합니다. 안정적인 온도 구배가 결정 품질과 성장 속도를 보장하는 열쇠이기 때문입니다.
흐름 안내 링: 흑연 흐름 안내 링은 정밀하게 설계된 흐름 채널 또는 블레이드 구조를 통해 보호 가스(예: 아르곤)가 특정 경로를 따라 용광로에서 흐르도록 안내합니다. 이러한 방향성 흐름은 열장 분포를 최적화하여 열이 재료에 더욱 고르게 전달되도록 합니다. 동시에 흐르는 가스는 결정 성장 중에 생성된 불순물과 휘발성 물질을 제거하여 최종 제품(예: 단-실리콘 잉곳)의 순도와 품질을 향상시킬 수 있습니다.
흐름 안내 링
흑연 흐름 유도 링은 정밀하게 설계된 흐름 채널 또는 블레이드 구조를 통해 보호 가스(예: 아르곤)가 특정 경로를 따라 용광로에서 흐르도록 안내합니다. 이러한 방향성 흐름은 열장 분포를 최적화하여 열이 재료에 더욱 고르게 전달되도록 합니다. 동시에 흐르는 가스는 결정 성장 중에 생성된 불순물과 휘발성 물질을 제거하여 최종 제품(예: 단-실리콘 잉곳)의 순도와 품질을 향상시킬 수 있습니다.
우리를 선택하는 이유
1. 우리는 자체-자체 가압 흑연-을 자체 생산하여 안정적이고 제어 가능한 재료 특성을 보장합니다.
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| 매개변수 | 단위 | 흑연 절연 링 (모델: GIR-9999) | 흑연 흐름 가이드 링(모델: GFR-9999) | 통합 링 (모델: GIRF-99995) | 시험방법 |
|---|---|---|---|---|---|
| 기본 속성 | |||||
| 탄소 함량 | % | 99.99 이상 | 99.99 이상 | 99.995 이상 | GB/T 3521-2008 |
| 재 함량 | ppm | 50 이하 | 50 이하 | 30 이하 | ICP-MS 감지 |
| 밀도 | g/cm3 | 1.85-1.90 | 1.85-1.90 | 1.88-1.93 | 아르키메데스 방법 |
| 다공성 | % | 10 이하 | 10 이하 | 8 이하 | 수은 침입 |
| 열적 특성 | |||||
| 최대 작동 온도 | 도 | 2000 | 2000 | 2200 | 열분석 |
| 열전도율(1000도에서) | W/(m·K) | 80-120 | 80-120 | 90-130 | 레이저 플래시 방식 |
| 열팽창계수(25-1000도) | 10⁻⁶/도 | 2.5-3.0 | 2.5-3.0 | 2.4-2.8 | 팽창계 |
| 내열충격성(RT ← 1500도) | 사이클 | 50 이상 | 50 이상 | 60 이상 | 냉간 및 고온 테스트 교대 |
| 기계적 성질 | |||||
| 굴곡 강도(25도에서) | MPa | 40 이상 | 40 이상 | 45 이상 | 3-점 굽힘 |
| 압축 강도(25도에서) | MPa | 120 이상 | 120 이상 | 130 이상 | 단축 압축 |
| 해안 경도 | - | 60-70 | 60-70 | 65-75 | 쇼어 D 경도 시험기 |
| 치수 사양 | |||||
| 일반적인 크기 범위(ID×OD×H) | mm | 사용자 정의 가능(예: 200×300×50) | 사용자 정의 가능(예: 150×250×40) | 사용자 정의 가능(예: 250×350×60) | 좌표 측정기 |
| 치수 공차 | mm | ±0.02 | ±0.02 | ±0.01 | 좌표 측정기 |
| 표면 거칠기(Ra) | μm | 0.8 이하 | 0.8 이하 | 0.6 이하 | 프로필로미터 |
| 운영 성과 | |||||
| 온도 균일성 | 도 | ±3 이하 | ±3 이하 | ±2 이하 | 열전대 측정 |
| 예상 서비스 수명 | 사이클 | 500 이상 | 500 이상 | 600 이상 | 산업 현장 테스트 |
| 포장 | |||||
| 표준 포장 | PC/상자 | 1 | 1 | 1 | - |
| 포장재 | - | 진공백 + 충격 방지-폼 + 나무 케이스 | 진공백 + 충격 방지-폼 + 나무 케이스 | 진공백 + 충격 방지-폼 + 나무 케이스 | - |
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