제품개요
당사의 반도체 흑연 고정구는 초미립자, 고순도 등방성 흑연으로 제조된 정밀 엔지니어링 부품입니다. 반도체 제조의 중요한 공정을 위해 설계된 이러한 고정 장치는 웨이퍼 처리, 장치 패키징 및 고온 열처리 전반에 걸쳐 웨이퍼, 칩 및 전자 부품을 위한 신뢰할 수 있는 캐리어, 위치 지정 지그 및 소결 금형 역할을 합니다.
회분 함량과 중금속 불순물을 엄격하게 제어하는 당사의 흑연 고정구는 반도체 등급 청정도 표준을 충족하여 클래스 100 클린룸 환경과 호환됩니다. 오염 위험을 효과적으로 최소화하고 생산 배치 전반에 걸쳐 일관된 수율 성능을 보장합니다. 우리는 2인치부터 12인치까지의 표준 웨이퍼와 맞춤형 반도체 장치를 포괄하여 특정 도면, 장비 모델 및 프로세스 매개변수와 일치하는 완전한 맞춤형 서비스를 제공합니다.
| 제품 카테고리 | 핵심 프로세스 적용 | 일반적인 응용 분야 |
|---|---|---|
| 웨이퍼 흑연 트레이/서셉터 | 에피택셜 성장, CVD/PVD 증착, 확산, 산화, 어닐링 | IC 제조, 전력 장치, 광전자 칩, SiC/GaN 화합물 반도체 |
| 포장 및 소결 흑연 지그 | 공융 본딩, 진공 소결, 다이 부착 위치 지정, 캡슐화 정렬 | 다이오드, 트랜지스터, IGBT 모듈, LED 칩, MEMS 장치 |
| PECVD 흑연 보트/웨이퍼 캐리어 | 박막증착, 이온주입, 고온열처리 | 실리콘 웨이퍼 가공, 화합물 반도체 웨이퍼 생산 |
| 흑연 고정 장치 테스트 및 정렬 | 칩 테스트, 분류, 에이징 테스트 로딩 | 패키지 칩, 마이크로전자 부품, 센서 장치 |
우수한 기계적 및 마모 성능: 고밀도 등방구조로 압축강도와 굴곡강도가 우수합니다. 흑연의 고유한 자체 윤활 특성은 적재 및 하역 작업 중 마모를 줄여 서비스 수명을 연장하고 유지 관리 비용을 낮춥니다.
우수한 가공성: 재료는 공차가 엄격한 복잡한 형상으로 정밀하게 가공될 수 있어 특수한 공정 요구 사항에 맞는 맞춤형 설계를 지원합니다.
핵심 소재 특징
초고순도
탄소 함량은 최대 99.99% – 99.999%, 회분 함량은 2-5ppm에 불과합니다. 엄격하게 제어되는 중금속 이온 함량은 웨이퍼와 칩에 대한 금속 오염 위험을 제거하여 고급 반도체 공정 요구 사항을 준수합니다. 선택적 SiC 코팅 및 항산화제 함침은 고온 진공 및 불활성 대기 환경에서 순도와 내구성을 더욱 향상시킵니다.
우수한 열 안정성
열팽창계수(CTE)가 매우 낮아 급격한 온도 변화와 극도의 고온에서도 치수 변형을 최소화합니다. 이 소재는 진공에서 최대 2800도, 불활성 가스에서 최대 2200도까지 구조적 무결성을 유지하며 뛰어난 열충격 저항성을 제공합니다.
왜 우리를 선택합니까?
연료전지, 에너지저장, 반도체 흑연제품 솔루션 제공 전문 기업
우리 제품을 선택하는 이유
1.반도체급 소재 시스템: 국내 최고의 흑연 소재 공급업체와의 장기적인 파트너십을 통해 엄격한 입고 자재 검사를 통해 안정적이고 신뢰할 수 있는 성능을 보장합니다.
2. 미크론 수준의 정밀성: 다축 CNC 머시닝 센터와 전문 검사 장비는 엄격한 공차 제어와 배치 전체에 걸쳐 높은 치수 일관성을 보장합니다.
3.빠른 맞춤화 및 배송: 표준 맞춤형 주문은 영업일 기준 7~15일. 24-시간 내에 기술 응답과 R&D 프로젝트를 위한 신속한 프로토타입 제작 서비스를 제공합니다.
4.전체 공정 품질 관리: 원료 테스트부터 공정 중 검사, 최종 세척 및 포장까지 모든 단계를 엄격하게 관리하여 제품의 품질과 청결을 보장합니다.
5.경쟁력 있는 비용 우위: 수직 통합 생산 체인을 통해 중간 가격 인상 없이 공장에서 직접 가격을 책정할 수 있어 조달 비용이 절감됩니다.
6.글로벌 무역 지원: 우리는 EXW, FOB 청도, CIF, DDP 무역 조건을 지원하고 다양한 지불 방법을 허용하며 전 세계적으로 안전한 배송을 위해 전문적인 수출 포장을 제공합니다.1.
문의 및 평가: 도면, 사양, 공정 요구사항을 보내주세요. 우리 기술팀은 타당성 평가를 실시하고 12시간 이내에 전문적인 제안을 제공할 것입니다.
솔루션 확인: 고객의 확인을 위해 자재 선정 제안, 상세 견적 및 리드타임을 제공해드립니다.
생산 및 품질 관리: 주문 확인 후 전체 공정 추적이 가능하여 생산을 시작합니다. 주요 치수는 제조 과정에서 100% 검사됩니다.
청소 및 포장: 완제품은 먼지가 없는 작업장에서 세척 후 진공 포장하여 운송 중 2차 오염을 방지합니다.
납품 및 판매 후: 고객님이 선호하는 배송 방법으로 배송을 준비하고, 사용 안내, 유지 관리 조언, 애프터 서비스를 제공합니다.
기술 사양
| 매개변수 | 표준값 | 맞춤화 범위 |
|---|---|---|
| 기본 재료 | 고순도 등방성 흑연 | 압출 흑연, 성형 흑연(요구 사항에 따라) |
| 벌크 밀도 | 1.70 – 1.90g/cm³ | 1.65 – 1.95g/cm³ |
| 청정 | 99.99%(표준) | 99.99% – 99.999% |
| 재 함량 | 5ppm 이하 | 2ppm 이하(반도체 프리미엄 등급) |
| 최대 작동 온도 | 2200도(불활성 대기) | 최대 2800도(진공 환경) |
| 가공 공차 | ±0.01mm(표준) | ±0.005~±0.05mm |
| 웨이퍼 크기 호환성 | 2 inch, 4 inch, 6 inch, 8 inch | 최대 12인치, 맞춤형 모양 |
| 표면 처리 | 가공된 상태(표준) | 정밀연마, SiC 코팅, 항산화 함침 |
기술 사양
| 재료 | 고순도 등방성 흑연, 미세한 입자 크기 |
| 밀도 | 1.75 - 1.85g/cm3 |
| 재 함량 | < 50 ppm (semiconductor grade) |
| 최대 가공 크기 | 최대 1000 x 500 x 300mm |
| 용인 | ±0.02mm(CNC 정밀도) |
| 최대 온도 | 2800도(불활성 대기) |
응용
- 에피택셜 웨이퍼 성장(SiC, GaN, GaAs)
- CVD/PVD 증착 챔버
- 확산 및 산화로
- 전자 부품의 진공 소결
- 다이 부착 및 공융 본딩 설비
- 이온 주입 및 리소그래피 처리
Jincheng 흑연 설비를 선택하는 이유는 무엇입니까?
- 40+년1984년부터 흑연 가공 경험 보유
- 5,000톤/년30+개 국가로의 수출량
- 50+ CNC 기계정밀 흑연 부품용
- 맞춤형 도면환영합니다 - 소량 배치 및 프로토타입 주문
- 빠른 배송: 표준 부품의 경우 7-15일, 맞춤형 부품의 경우 20-30일
- 품질 관리: 발송 전 100% 검수
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